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小型光学粗糙度传感器Horos
时间:2017-02-10 15:39来源:讯技光电作者: 营销部点击:次打印

1.Horos—光学粗糙度传感器。
2.测量样本。
3.钻石旋转加工表面的测量结果。
4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。
 
系统简介
 
随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。
 
特征及技术参数
 
- 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。
- 灵敏度R_q<0.5 nm
- 测量时间: < 1 s。
- 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。
 
 
传感器
 
Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。
 
应用

可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测:
- 平面或复杂(自由形状)表面。
- 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。
- 机械零件。
- 汽车工业。
 
 
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